[发明专利]感光性树脂组合物有效
| 申请号： | 200680008236.3 | 申请日： | 2006-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN101142529A | 公开（公告）日： | 2008-03-12 |
| 发明（设计）人： | 谷口龙一郎;三井博子;诹方充史 | 申请（专利权）人： | 东丽株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/037 | 分类号： | G03F7/037;G03F7/027;G03F7/004;C08G73/10;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 熊玉兰;李平英 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明通过感光性树脂组合物，可以形成可以进行碱性显影且具有优异的耐热性、强度和伸长率的聚酰亚胺膜，该组合物含有(a)在主链末端具有至少一个选自羧基、酚式羟基、磺酸基和巯基的基团的聚酰亚胺、(b1)通式(1)表示的含有不饱和键的聚合性化合物和(c)光聚合引发剂。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种感光性树脂组合物，含有(a)在主链末端具有至少一个选自羧基、酚式羟基、磺酸基和巯基的基团的聚酰亚胺、(b1)通式(1)表示的含有不饱和键的聚合性化合物和(c)光聚合引发剂，[化1]式中、R1表示具有至少1个芳环的一～三价有机基团，R2～R4表示具有不饱和键的聚合性基团，R5～R7表示二价有机基团，R2～R4 和R5～R7分别可以相同，也可以不同，另外，o、p、q表示0～1的整数，r、s、t分别独立地表示1～10的整数，但是o+p+q≥1。
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