[发明专利]运行脉冲式电弧源的方法无效
| 申请号： | 200680009506.2 | 申请日： | 2006-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN101263575A | 公开（公告）日： | 2008-09-10 |
| 发明（设计）人： | J·拉姆;O·格斯托尔;B·威德里格;D·伦迪 | 申请（专利权）人： | 奥尔利康贸易股份公司（特吕巴赫） |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C14/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 卢江;刘春元 |
| 地址： | 瑞士特*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于沉积绝缘层的电弧方法以及用于低温涂层的电弧方法，其中引起或运行在电弧源的靶表面上的电火花放电，其中该火花放电同时用直流电以及脉冲或交流电来馈电。此外本发明还涉及一种电弧源，其中靶与供电单元连接，该供电单元或者是至少一个第一脉冲式高电流电源18，18’以及另一个电源13’，18”，或者是用开关网络分配技术实施的电源21，21’，22。 | ||
| 搜索关键词： | 运行 脉冲 电弧 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于运行电弧源的方法，其中引起或运行在靶表面上的电火花放电，其中该火花放电同时用直流电以及脉冲或交流电来馈电，其特征在于，所述靶的表面至少部分被绝缘层覆盖。
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