[发明专利]电导率传感器及其制造方法无效
| 申请号： | 200680009612.0 | 申请日： | 2006-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN101147056A | 公开（公告）日： | 2008-03-19 |
| 发明（设计）人： | 冯昌东 | 申请（专利权）人： | 罗斯蒙德分析公司 |
| 主分类号： | G01N27/07 | 分类号： | G01N27/07 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 王新华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种接触型电导率传感器(40，68)包括设置在基片(20，50)的远端表面(24，54)上的多个电极(30，66)。基片(20)包括多个通孔(22，52)，通过该多个通孔(22，52)实现与电极(30，66)的电互连。电导率传感器(40，68)可采用两个或四个电极(30，66)，并且可具有设置在远端表面(24，54)上的温度检测元件(80)。电极(30，66)可图案化或否则使用半导体处理技术的沉积化。 | ||
| 搜索关键词： | 电导率 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种流体电导率传感器，包括：无机基片，其具有远端的、流体接触表面和近处表面，基片限定从远端表面延伸到流体接触表面的多个通孔，其中每个通孔包含从远端表面延伸到近处表面的金属；多个电极，其设置在远端表面上；和多个电互连，其延伸超过近处表面，其中每个电互连通过相应的通孔电连接到电极。
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