[发明专利]微小结构体的探针卡、微小结构体的检查装置、检查方法、以及计算机程序无效
| 申请号： | 200680010007.5 | 申请日： | 2006-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN101151540A | 公开（公告）日： | 2008-03-26 |
| 发明（设计）人： | 奥村胜弥;八壁正巳;池内直树 | 申请（专利权）人： | 奥克泰克有限公司;东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01P21/00;G01C9/06 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有可动部的微小结构体的检查方法，该检查方法不会损伤探针或检查用电极，并通过在探针与检查用电极接触的过程中抑制针压的影响来进行高精度的检查。当对微小结构体进行检查时，首先使一对探针(2)与各个电极焊盘(PD)接触，然后经由继电器(30)连接一对探针(2)和烧穿用电源(50)。然后，从烧穿用电源(50)向一对探针(2)中的一个探针(2)施加电压。当逐渐升压时，通过烧穿现象弄破一对探针(2)之间的氧化膜，从而在一对探针(2)之间会有电流流过，探针(2)与电极焊盘(PD)之间电导通。然后，经由继电器(30)将一对探针(2)从烧穿用电源(5)切换到测定部(40)一侧而使其与测定部(40)电结合。 | ||
| 搜索关键词： | 微小 结构 探针 检查 装置 方法 以及 计算机 程序 | ||
【主权项】：
1.一种微小结构体的探针卡，用于检查具有在基板上形成的可动部分的至少一个微小结构体的特性，其特征在于，为了利用烧穿现象使设置在所述微小结构体上的检查用电极与设置在所述探针卡上的探针导通，针对一个所述检查用电极设置两个探针。
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