[发明专利]声表面波马达

摘要

在能量恢复型声表面波马达中，可通过调节相位改变来实现在能量恢复和提供时能量效率的增加。一种声表面波马达(1)，包括：声表面波基底(2)；滑动器(3)，被提供有施加压力(N)；驱动叉指电极4，连接至外部电源(V)，用以在表面(S)上生成驱动声表面波(W)，以通过基于所述声表面波(W)和施加压力(N)在与所述声表面波基底(2)接触的滑动器(3)的接触表面上生成的摩擦力来驱动所述滑动器(3)；恢复叉指电极(5)，位于所述声表面波(W)的行进方向的前方和后方，用于恢复在所述声表面波(W)中未用于驱动所述滑动器3的声表面波(W)的能量，以及用于使用所恢复的能量生成声表面波(W)；和相位调节装置(10)，用于使得由所述恢复叉指电极5生成的声表面波的相位与由所述驱动叉指电极(4)生成的驱动声表面波W的相位匹配。

主权项

1.一种声表面波马达，包括：声表面波基底；滑动器，配置为在被施加压力时与所述声表面波基底的表面接触；一个或多个驱动叉指电极，配置在所述声表面波基底的表面上并连接至外部电源，用以在所述声表面波基底中生成驱动声表面波，以通过摩擦力来驱动所述滑动器，其中基于所述声表面波和施加至所述滑动器的压力，在所述滑动器的与所述声表面波基底接触的接触表面上生成所述摩擦力；和恢复叉指电极，设置在所述声表面波基底的表面上且位于所述声表面波的行进方向的前方和后方，用于恢复声表面波中未用于驱动所述滑动器的声表面波的能量，以及用于使用所恢复的能量生成声表面波；其中，所述声表面波马达还包括：相位调节装置，用于使由所述恢复叉指电极生成的声表面波的相位与由所述驱动叉指电极生成的驱动声表面波的相位匹配。