[发明专利]测量射束角的方法

摘要

提供了一种用以确定离子束到工件表面的二个入射角的系统、装置及方法。具有细长第一及第二传感器的测量装置被耦接至平移机构，其中，第一传感器以垂直于平移的第一方向进行延伸，而第二传感器以倾斜于第一传感器的角度延伸。第一及第二细长传感器在其分别于相应的第一时间及第二时间通过离子束时感测一个或多个离子束特性，并且控制器可运作以根据，至少部分地根据第一及第二传感器在第一及第二时间所感测的一个或多个离子束特性来确定离子束的第一及第二入射角。

主权项

1.一种离子注入系统，包括：可运作来形成离子束的离子注入机；测量装置，其具有与其相关的平面，该测量装置又包括：第一细长传感器，其中，第一细长传感器沿着测量装置的平面在第一方向延伸，且其中，第一细长传感器可运作来感测离子束的一个或多个特性；以及第二细长传感器，其中，第二细长传感器沿平面相对于第一细长传感器成倾斜角度延伸，且其中，该第二细长传感器进一步可运作来感测离子束的一个或多个特性；平移机构，其可运作地耦接到离子注入机及测量装置，其中，平移机构可运作以在大致上垂直于第一细长传感器且大致上平行于该平面的方向来平移测量装置通过离子束路径；以及控制器，其被配置为控制平移机构并且接收所感测的离子束的一个或多个特性，其中，该控制器可运作以根据，至少部分地根据，测量装置的位置以及由第一传感器及第二传感器所感测的离子束的一个或多个特性来确定离子束相对于测量装置的平面的第一射束角度和第二射束角度。