[发明专利]微波发生装置和微波发生方法无效
| 申请号： | 200680011274.4 | 申请日： | 2006-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN101156314A | 公开（公告）日： | 2008-04-02 |
| 发明（设计）人： | 河西繁 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H03B28/00 | 分类号： | H03B28/00;H01L21/205;H01L21/3065;H05B6/66;H05H1/00;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种微波发生装置，其特征在于，具有：开关信号发生部，发生具有微波频带的基本频率的矩形波状的开关信号；开关功率放大部，根据上述开关信号，进行开关功率放大，输出放大信号；可变电压供给部，能够可变地将放大用的驱动电压供给上述开关功率放大部；微波选择部，用于从上述放大信号取出频率与上述开关信号的基本频率相同的正弦波信号，作为微波输出；输出信号检测部，检测上述微波；和驱动电压控制部，根据上述输出信号检测部的检测结果，控制上述可变电压供给部。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 发生 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微波发生装置，其特征在于，具有：开关信号发生部，发生具有微波频带的基本频率的矩形波状的开关信号；开关功率放大部，根据所述开关信号，进行开关功率放大，输出放大信号；可变电压供给部，能够可变地将放大用的驱动电压供给所述开关功率放大部；微波选择部，用于从所述放大信号取出频率与所述开关信号的基本频率相同的正弦波信号，作为微波输出；输出信号检测部，检测所述微波；和驱动电压控制部，根据所述输出信号检测部的检测结果，控制所述可变电压供给部。
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