[发明专利]准分子灯无效
| 申请号： | 200680013295.X | 申请日： | 2006-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN101164136A | 公开（公告）日： | 2008-04-16 |
| 发明（设计）人： | 大岛启嘉;小林纪雄 | 申请（专利权）人： | 豪雅冠得股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J65/00 | 分类号： | H01J65/00;H01J61/92 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李德山;朱胜 |
| 地址： | 日本埼玉*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 可以提供一种增大准分子光的发射输出的准分子灯。该准分子灯至少包括布置在光发射方向的光发射窗(3)和多个被布置成彼此相对的准分子放电电极(2)。在相对的电极之间形成的放电空间(5)中的准分子放电气体产生放电，从而发射准分子光。准分子放电电极(2)是平板电极。在平板电极之间布置了多个放电空间(5)。与所述放电空间(5)的放电路径平行地布置光发射窗(3)。 | ||
| 搜索关键词： | 分子 | ||
【主权项】：
1.一种准分子灯，其至少具有设置在光射出侧的光发射窗和多个彼此相对的准分子放电电极，并且具有这样的结构：在所述相对的电极之间形成的放电空间中的准分子放电气体产生放电，从而发射准分子光，所述准分子放电电极是平板电极，设置了多个所述放电空间，每一个所述放电空间在平板电极之间，与所述放电空间的放电通道平行地设置所述光发射窗。
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