[发明专利]笛卡尔机械臂群集工具架构

摘要

兹提供一种使用多腔室制程系统来处理基材的方法及设备，该系统具有增加的产能、增强的系统可靠度、改善的元件合格率表现、再现性更高的晶片制程历史、以及较小的占地面积(footprint)。该群集工具的各种实施例可使用以平行制程配置法配置的两个或多个机械臂，以在留置在所述制程架内的各个制程腔室间传送基材，因而可执行预期的制程程序。在一实施态样中，该平行制程配置法包含两个或多个机械臂组件，其是适于在垂直和水平方向上移动，以存取留置在所述制程架内的若干制程腔室。在一实施例中，一机械臂叶片适于限制一基材，使得传送过程期间该基材所经历的加速不会使该机械臂叶片上的基材位置改变。

主权项

1.一种处理一基材的群集工具，其至少包含：一第一制程架，含有：一第一组两个或多个垂直堆迭的制程腔室；以及一第二组两个或多个垂直堆迭的制程腔室，其中该第一及第二组的两个或多个基材制程腔室具有沿着一第一方向排列的一第一侧；一第一机械臂组件，适于传送一基材至该第一制程架中的基材制程腔室，其中该第一机械臂组件包含：一第一机械臂，具有一机械臂叶片及位于其上的一基材容纳表面，其中该第一机械臂界定一传送区域，并且适于将一基材设置在通常容纳于一第一平面内的一或多个点上，其中该第一平面与该第一方向以及和该第一方向垂直的一第二方向平行；一第一移动组件，适于将该第一机械臂设置在通常与该第一平面垂直的一第三方向上；以及一第二移动组件，适于将该第一机械臂设置在通常与该第一方向平行的一方向上；其中当该基材被设置在该机械臂叶片的基材容纳表面上时，该传送区域的宽度与该第二方向平行且比该第二方向的基材尺寸大约5％至约50％间。