[发明专利]输送误差计测方法、校正方法、描绘方法、曝光描绘方法、描绘装置以及曝光描绘装置无效
| 申请号： | 200680013376.X | 申请日： | 2006-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN101167019A | 公开（公告）日： | 2008-04-23 |
| 发明（设计）人： | 福井隆史 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 具有：相对于曝光头(24a～24h)相对地输送计测用工件(36a)的第一输送部(100)；对计测用工件(36a)通过曝光头(24a～24h)连续地描绘多个测试图案图像(112)的第一描绘部(102)基于在计测用工件(36a)上描绘的多个测试图案图像(112)的描绘状态至少计测计测用工件(36a)的相对输送误差的计测部(104)；基于所述输送误差生成与描绘时刻和图像的变形相关的信息的修正部(106)；相对于曝光头(24a～24h)相对地输送正规的工件(36)的第二输送部(108)；基于由修正部(106)生成的信息对正规的工件(36)描绘应描绘图像的第二描绘部(110)。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 误差 方法 校正 描绘 曝光 装置 以及 | ||
【主权项】：
1.一种输送误差计测方法，其包括：输送步骤，其相对于描绘部相对地输送保持有工件(36)的载置台(18)；描绘步骤，其通过所述描绘部，对所述工件(36a)描绘多个测试图案图像(112)；及计测步骤，其基于在所述工件(36a)上描绘的多个测试图案图像(112)的描绘状态至少对所述工件(36a)的相对输送误差进行计测。
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