[发明专利]非接触静电驱动的MEMS器件无效
| 申请号： | 200680013416.0 | 申请日： | 2006-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN101164005A | 公开（公告）日： | 2008-04-16 |
| 发明（设计）人： | M·H·施特伦皮尔 | 申请（专利权）人： | 德克萨斯仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种具有减少的静摩擦的微机电系统(MEMS)器件(200)。MEMS器件包括成形在衬底上的中央电极(216)和一对外部电极(220)。中央电极包括多个延伸部，所述延伸部限定了多个散置在所述延伸部(218)中的凹槽(221)。外部电极包括多个位于中央电极的凹槽内的多个延伸部。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 静电 驱动 mems 器件 | ||
【主权项】：
1.一种微机电器件，包括：衬底；形成在所述衬底上的第一电极，所述第一电极具有多个隔开的延伸部，所述延伸部从所述第一电极的相对侧延伸，所述隔开的延伸部限定了多个散置在所述延伸部中的凹槽；一对附加的电极，其形成在所述衬底上，邻近所述第一电极的所述相对侧，所述附加的电极具有位于所述凹槽内的多个隔开的延伸部，所述凹槽限定在所述第一电极的相对侧。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于德克萨斯仪器股份有限公司，未经德克萨斯仪器股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200680013416.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
