[发明专利]合并光刻掩膜的次分辨率辅助特征有效
| 申请号： | 200680013588.8 | 申请日： | 2006-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN101589391A | 公开（公告）日： | 2009-11-25 |
| 发明（设计）人： | 肖恩·C·奥布赖恩;张国鸿 | 申请（专利权）人： | 德州仪器公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 刘国伟 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 合并次分辨率辅助特征包括：接收包括所述次分辨率辅助特征的掩膜图案(10)。选择第一次分辨率辅助特征以与第二次分辨率辅助特征合并。确立合并棒(16)的合并棒宽度。确定所述第一次分辨率辅助特征与所述第二次分辨率辅助特征之间的距离。依据所述距离及所述合并棒宽度确定合并技术。根据所述确认的合并来合并所述第一次分辨率辅助特征及所述第二次分辨率辅助特征。 | ||
| 搜索关键词： | 合并 光刻 分辨率 辅助 特征 | ||
【主权项】：
1、一种用于合并多个次分辨率辅助特征的方法，其包括：接收光刻掩膜的掩膜图案，所述掩膜图案包括多个次分辨率辅助特征；选择第一次分辨率辅助特征以与第二次分辨率辅助特征合并；确立用于合并所述第一次分辨率辅助特征及所述第二次分辨率辅助特征的合并棒的合并棒宽度；确定所述第一次分辨率辅助特征与所述第二次分辨率辅助特征之间在预定方向上的距离；依据所述距离及所述合并棒宽度确认合并技术；及根据所述确认的合并技术合并所述第一次分辨率辅助特征及所述第二次分辨率辅助特征。
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