[发明专利]带均压的衬底容器

摘要

本发明是一种用于容纳对微粒敏感的衬底的盒，用于在所述盒的外部与内部环境之间提供均压并用于使靠近所述对微粒敏感的衬底的内部气态流体流最小化。所述盒包含主盒、以及位于封盖中的隔膜，所述隔膜具有正常的未挠曲位置，所述隔膜可相对于所述正常的未挠曲位置发生挠曲。较佳地，所述盒包含设置于所述主盒中的辅助盒，以界定用于容纳所述对微粒敏感的衬底的第二外壳。所述盒可包含过滤器，所述过滤器附装至所述盒并在所述盒的外部与所述盒的内部之间提供气态流体连通。所述隔膜可响应于快速的压力变化，而所述过滤器可响应于较慢的压力变化并使所述隔膜能够返回至其正常的未挠曲位置。

主权项

1.一种用于容纳对微粒敏感的衬底的盒，用于在所述盒的外部与内部环境之间提供均压并用于使靠近所述对微粒敏感的衬底的内部气态流体流最小化，所述盒的特征是包含：主盒，其包含基座及封盖，所述封盖构造有与外表面相对的下凹的内表面，所述封盖适于可移开地啮合所述基座，以在所述下凹的内表面与所述基座之间界定具有第一体积的第一外壳，所述封盖具有一开孔；位于所述封盖中的隔膜，所述隔膜具有正常的未挠曲位置，所述隔膜在与所述盒的所述外部连通的第二体积与不与所述盒的所述外部流体连通的第三体积之间划分所述第一体积，所述隔膜可相对于所述正常的未挠曲位置发生挠曲；以及辅助盒，其设置于所述主盒中，所述辅助盒包含下部及上部，所述上部适于与所述下部进行接口，以界定由第二外壳体积表征的用于容纳所述对微粒敏感的衬底的第二外壳，所述下部包含支撑结构，以用于可移开地将所述对微粒敏感的衬底固持于其上面，且所述上部包含固定结构，以用于在所述上部与所述下部啮合时固定所述对微粒敏感的衬底。