[发明专利]测量透光基板中尺寸变化的方法和装置有效
| 申请号： | 200680014608.3 | 申请日： | 2006-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN101495939A | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | R·L·福克斯;K·C·坎恩;A·J·普里斯科达 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F1/28 | 分类号： | G06F1/28;G06F15/00;G01N21/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 李 玲 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种测量透光基板中尺寸变化的方法包括在参考板上形成参考标记阵列、在透光基板上形成基板标记阵列、将参考板和透光基板层叠成使得参考标记和基板标记重叠、在处理透光基板之前和之后相对于参考标记的坐标测量基板标记的坐标、以及从在处理透光基板之前和之后所测量的基板标记的相对坐标之间的差异来确定透光基板中的尺寸变化。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 透光 基板中 尺寸 变化 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种测量透光基板中尺寸变化的方法，包括：在参考板上形成参考标记阵列；在所述透光基板上形成基板标记阵列；将所述参考板和所述透光基板层叠成使所述参考标记和所述基板标记重叠；在处理所述透光基板之前和之后相对于所述参考标记的坐标测量所述基板标记的坐标；以及从在处理所述透光基板之前和之后所测量的所述基板标记的相对坐标之间的差异来确定所述透光基板中的尺寸变化。
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