[发明专利]光掩模的制作和检查的结构和方法有效
| 申请号： | 200680014909.6 | 申请日： | 2006-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN101171584A | 公开（公告）日： | 2008-04-30 |
| 发明（设计）人： | 杰德·H·兰金;安德鲁·J·沃茨 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50;G03F1/00;G06K9/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 黄小临 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提出了光掩模(100)和设计、制作与检查光掩模(100)的方法，以及设计光掩模(100)的系统。光掩模(100)包括：单元区(110)，单元区(110)包括一个或多个芯片区(155A、155B、155C、155D)和一个或多个截口区(160A、160B、160C、160D)，每个芯片区(155A、155B、155C、155D)包括与集成电路芯片的特征相应的不透明和透明子区的图样，每个截口区(160A、160B、160C、160D)包括与集成电路截口的特征相应的不透明和透明子区的图样；与副本区(170A、170B)的边相邻形成的透明区(125A)，副本区(170A，170B)包括即至少一部分单元区(110)的副本的不透明和透明子区；以及在透明区(125A、125B、125C、125D)和单元区(110)之间的不透明区(115)。 | ||
| 搜索关键词： | 光掩模 制作 检查 结构 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光掩模，包括：单元区，所述单元区包括一个或多个芯片区和一个或多个截口区，每个芯片区包括与集成电路芯片的特征相应的不透明和透明子区的图样，每个截口区包括与集成电路截口的特征相应的不透明和透明子区的图样；与副本区的边相邻地形成的透明区，所述副本区包括作为所述单元区的至少一部分的副本的不透明和透明子区；以及在所述透明区和所述单元区之间的不透明区。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于国际商业机器公司，未经国际商业机器公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200680014909.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种酒精与汽油混合汽车用不锈钢油箱
- 下一篇：具有独立气门推杆衬套的气缸盖
