[发明专利]描绘点数据取得方法及装置和描绘方法及装置

摘要

利用照相机(26)检测预先设置在基板(12)上的规定位置的多个基准标记(12a)，由检测位置信息取得机构(52)取得对该基准标记(12a)的位置进行表示的检测位置信息，根据该取得的检测位置信息，由曝光轨迹信息取得机构(54)取得对曝光头(30)的各微反射镜(38)在基板(12)上的实际曝光轨迹进行表示的曝光轨迹信息，在曝光数据取得机构(56)中从曝光图像数据中取得与每个微反射镜(38)的曝光轨迹信息对应的曝光点数据，根据该取得的曝光点数据，由曝光头(30)曝光基板(12)。从而可在使曝光头相对基板移动的同时，对应于该移动，在基板上依次形成曝光点，对曝光图像进行曝光，无论基板是否变形等，都在基板上的期望位置曝光期望的曝光图像。

主权项

1.一种描绘点数据取得方法，使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在所述描绘对象上依次形成所述描绘点，取得在所述描绘对象上描绘图像时所使用的所述描绘点数据，其特征在于：取得在所述图像的原图像数据上的所述描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息，根据该取得的描绘点数据轨迹信息，从所述图像数据中取得与所述描绘点数据轨迹对应的多个所述描绘点数据。