[发明专利]用于紫外线和/或深紫外线波长的光学扫描设备的物镜系统无效
| 申请号： | 200680015853.6 | 申请日： | 2006-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN101171632A | 公开（公告）日： | 2008-04-30 |
| 发明（设计）人： | J·H·M·内詹;H·范桑滕;B·H·W·亨德里克斯 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G11B7/135 | 分类号： | G11B7/135;C03C4/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 李静岚;谭祐祥 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 提供了用于紫外线和/或深紫外线波长的光学扫描设备的物镜系统(1”)。物镜系统(1”)包含至少一个具有非球面的玻璃部件(3”)。该至少一个玻璃部件(3”)由具有低软化温度并对紫外线和/或深紫外线波长具有低吸收系数的玻璃材料构成。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 紫外线 深紫 外线 波长 光学 扫描 设备 物镜 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于紫外线和/或深紫外线波长的光学扫描设备(10)的物镜系统(1，1’，1”)，该物镜系统(1，1’，1”)包含至少一个具有非球面的玻璃部件(3，3’，3”)，其中所述至少一个玻璃部件(3，3’，3”)由具有低软化温度并对紫外线和/或深紫外线波长具有低吸收系数的玻璃材料构成。
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