[发明专利]半导体装置及其制造方法无效
申请号: | 200680016084.1 | 申请日: | 2006-04-10 |
公开(公告)号: | CN101176210A | 公开(公告)日: | 2008-05-07 |
发明(设计)人: | 吉持贤一 | 申请(专利权)人: | 罗姆股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L21/336 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 李贵亮 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种半导体装置,包括:半导体基板;多个源极区域,其在该半导体基板上形成为条纹状;多个栅电极,其在所述半导体基板上的所述条纹状的多个源极区域间形成为条纹状;绝缘膜,其覆盖所述源极区域以及栅电极,并在与所述源极区域的长度方向相关的一部分规定区域上具有使源极区域局部露出的接触孔;和源电极,其形成在该绝缘膜上,经由所述接触孔与所述源极区域电连接。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种半导体装置,包括:半导体基板;多个源极区域,其在该半导体基板上形成为条纹状;多个栅电极,其在所述半导体基板上的所述条纹状的多个源极区域间形成为条纹状;绝缘膜,其覆盖所述源极区域以及栅电极,并在与所述源极区域的长度方向相关的一部分规定区域上具有使源极区域局部露出的接触孔;和源电极,其形成在该绝缘膜上,经由所述接触孔与所述源极区域电连接。
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