[发明专利]（甲基）丙烯酰胺衍生物、聚合物、化学增幅型光敏树脂组合物及其图案化方法无效
| 申请号： | 200680016467.9 | 申请日： | 2006-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN101175777A | 公开（公告）日： | 2008-05-07 |
| 发明（设计）人： | 前田胜美;中野嘉一郎 | 申请（专利权）人： | 日本电气株式会社 |
| 主分类号： | C08F20/58 | 分类号： | C08F20/58;C07C233/27;C07C233/75;C07D309/10;C07F7/18;G03F7/004;G03F7/039;G03F7/075;G03F7/40 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王怡 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种由通式(1)所代表的新型(甲基)丙烯酰胺，一种所述(甲基)丙烯酰胺化合物的(共)聚合物，和由所述聚合物和光致产酸剂组成的化学增幅型光敏树脂组合物。在式(1)中，R1代表氢原子或甲基；R2代表可酸解基团；和R3到R6独立地代表氢原子、卤原子或具有1到4个碳原子的烷基。 | ||
| 搜索关键词： | 甲基 丙烯酰胺 衍生物 聚合物 化学 增幅 光敏 树脂 组合 及其 图案 方法 | ||
【主权项】：
1.一种由如下通式(1)所代表的(甲基)丙烯酰胺衍生物：![]()
其中，R1代表氢原子或甲基；R2代表可酸解基团；和R3到R6独立地代表氢原子、卤原子或具有1到4个碳原子的烷基。
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