[发明专利]干燥表面的方法有效

专利信息
申请号: 200680016488.0 申请日: 2006-04-11
公开(公告)号: CN101175579A 公开(公告)日: 2008-05-07
发明(设计)人: 木下圭;菲利普·恩格塞 申请(专利权)人: SEZ股份公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;H01L21/687;H01L21/306
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 张祖昌
地址: 奥地利*** 国省代码: 奥地利;AT
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摘要: 公开了用于干燥一盘形物品的一表面之方法,其包含用一清洗液覆盖该表面,藉此形成一封闭液层,以及清除该清洗液,其中该清洗液包含至少50%重量百分比的水和至少5%重量百分比的物质,其中该物质降低水的该表面能,其中由将气体吹到该封闭液层上而启动该清除该液体,由此该封闭液层在不连续区域被打开。
搜索关键词: 干燥 表面 方法
【主权项】:
1.一种干燥盘形物品的表面的方法,其包括用清洗液覆盖所述表面,由此形成一封闭液层,以及清除该清洗液,其中所述清洗液包含至少50%重量百分比的水和至少5%重量百分比的一物质,其中所述物质降低水的表面能,其中通过将气体吹到所述封闭液层上而开始所述的清除所述液体,由此该封闭液层在不连续区域被打开。
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