[发明专利]用于检查表面的装置有效
申请号: | 200680016588.3 | 申请日: | 2006-07-05 |
公开(公告)号: | CN101371131A | 公开(公告)日: | 2009-02-18 |
发明(设计)人: | 贝尔恩德·吕狄格尔·施特约伯尔 | 申请(专利权)人: | 柯尼格及包尔公开股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 王仲贤 |
地址: | 德国维*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种检查表面的装置,其设有检查系统,该检查系统具有光学装置以接收自需要检查的表面反射的光线,和一具有至少两个光源的照射系统,该光学装置和照射系统与一控制单元连接,所述光源以一间距彼此相隔设置,所述光源各自将光线发射到光学装置设于需要检查的表面上的检测区域中,光学装置与需要检查的表面相对准,照射系统彼此间相隔设置的至少一个光源各自分成多个单独子光源,控制单元分别选择性地且彼此独立地控制至少两个彼此间相隔设置的照射系统的光源,和/或至少一个彼此间相隔设置的光源的单独子光源,光学装置的检测区域位于相对于检查系统经过该检测区域的需要检查的表面的运动平面内,照射系统光源之间的间距沿着需要检查的表面的运动方向延伸,至少一个光源的单独子光源与需要检查的表面的运动方向横向地排列。 | ||
搜索关键词: | 用于 检查 表面 装置 | ||
【主权项】:
1.一种检查表面的装置,其中设有检查系统(01),所述检查系统(01)具有用于接收需要检查的表面所反射的光线的光学装置(02),和具有至少两个光源(07;08)的照射系统(06),其中所述光学装置(02)和照射系统(06)与控制单元(04)连接,其中所述光源(07;08)以一定间距(A)彼此相隔设置,其中所述光源(07;08)各自将光线发射到所述光学装置(02)设于需要检查的表面上的检测区域(11)中,其中所述光学装置(02)与需要检查的表面相对准,其特征在于,所述照射系统(06)的至少一个彼此以间距(A)相隔设置的光源(07;08)各自分成多个单独子光源(071至077和/或081至087),其中所述控制单元(04)分别选择性地且彼此独立地控制照射系统(06)的至少两个彼此以间距(A)相隔设置的光源(07;08),和/或至少一个彼此以间距(A)相隔设置的光源(07;08)的单独子光源(071至077和/或081至087),其中所述光学装置(02)的检测区域(11)位于相对于所述检查系统(01)经过该检测区域(11)的需要检查的表面的运动平面内,其中所述照射系统(06)的光源(07;08)之间的间距(A)沿着需要检查的表面的运动方向(T)延伸,其中至少一个光源(07;08)的单独子光源(071至077和/或081至087)与需要检查的表面的运动方向(T)横向地设置。
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