[发明专利]使用干涉激光光束的处理方法和处理装置有效
| 申请号： | 200680017097.0 | 申请日： | 2006-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN101175599A | 公开（公告）日： | 2008-05-07 |
| 发明（设计）人： | 岩濑秀夫 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/36;B23K26/06;G02B1/11;B23K26/067;G02B5/18 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 康建忠 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种处理方法和一种处理装置，其中能够抑制可归因于通过干涉激光光束的处理中的表面波的干扰，具体地说，是通过具有等于或大于1fs并且等于或小于1ps的脉宽的脉冲激光的干涉激光光束的处理，其中，使得在激光的干涉方向上传播的表面波的波长比被处理物体的表面上的激光的干涉节距长，以处理所述物体。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 干涉 激光 光束 处理 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于通过使用干涉激光光束对被处理物体进行处理的方法，包括以下步骤：调节激光光束，从而在激光光束的干涉方向上传播的表面波的波长比被处理物体的表面上的激光光束的干涉节距更长；以及处理所述被处理物体。
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