[发明专利]气体放电源，特别是EUV辐射有效
| 申请号： | 200680017282.X | 申请日： | 2006-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN101180923A | 公开（公告）日： | 2008-05-14 |
| 发明（设计）人： | J·W·内夫;R·普鲁默 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 李静岚;谭祐祥 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种气体放电源，特别是涉及EUV辐射和/或软X射线辐射，其中，在真空腔体(2)中，可旋转地设置了至少两个具有至少大致圆形周边的电极(1)以用于旋转，其中在一个空间位置处的电极具有狭小的空间用来点燃气体放电(6，18)并且在每种情况下都以这样的方式与用于液体的、导电材料(5)的贮液器(15)连接：即在旋转过程中，该导电材料的液体膜(22)可以形成在所述电极的圆形周边上，且通过所述贮液器使得电流可能流到所述电极。在本发明的气体放电源中，在每种情况下电极都通过连接元件(14)与贮液器连接，其中在电极和连接元件之间、在每个电极的圆形周边的局部部分上形成有缝隙(19)，在电极旋转的过程中液体材料可以通过形成在连接元件中的至少一个馈送通道(16)从贮液器渗透到该缝隙中。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 电源 特别是 euv 辐射 | ||
【主权项】：
1.气体放电源，特别用于EUV辐射和/或软X射线辐射，其中在真空腔体(2)中，可旋转地设置了至少两个具有至少大致圆形周边的电极(1)以用于旋转，其中在一个空间位置的所述电极(1)具有狭小的间距用于气体放电(6)的点燃，并且在每种情况下以这样的方式与用于液体的导电材料(5)的贮液器(15)连接：在旋转的过程中，该导电材料(5)的液体膜(22)能够形成在所述电极(1)的圆形周边上，且通过所述贮液器(15)使得电流能够流到所述电极(1)，其特征在于：电极(1)在每种情况下通过连接元件(14)与贮液器(15)连接，利用连接元件(14)在电极(1)和连接元件(14)之间、在每个电极(1)的圆形周边的局部部分上形成缝隙(19)，在电极(1)旋转的过程中，液体的导电材料(5)能够通过形成在连接元件(14)中的至少一个馈送通道(16)从贮液器(15)渗透到该缝隙中。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于皇家飞利浦电子股份有限公司，未经皇家飞利浦电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200680017282.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
