[发明专利]宽范围的静电中和器和方法无效
申请号: | 200680017693.9 | 申请日: | 2006-05-22 |
公开(公告)号: | CN101568400A | 公开(公告)日: | 2009-10-28 |
发明(设计)人: | P·戈夫特;S·格尔基;A·伊格纳坚科 | 申请(专利权)人: | MKS仪器公司 |
主分类号: | B23K10/00 | 分类号: | B23K10/00 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 王 英 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 通过在电离单元或模块中产生具有正负带电离子混合物的离子云,并且重新整形该离子云来提供带电物体的静电中和,其中使用第二电压将离子重新分配至两个相反极性的区域来重新整形离子云。第二电压产生电场,该电场优选位于离子云的邻近处。离子的重新分配增加了可用离子向带电物体转移或移动的有效范围。该电场重新分配形成离子云的离子。因为极性与第二电压的极性相对应的离子被电场排斥,而极性与电场极性相反的离子被吸引到电场,所以在离子云内发生离子重新分配。在离子云中,将离子重新分配至两个相反极性的区域接着使得离子云重新整形,以至于与被排斥的离子相对应的一部分云由被吸引到电场的离子取代,这样增强了离子扩散或移动的范围。这种将离子重新分配至两个区域的方式在此处的公开文本中有时也被称为“离子极化”。 | ||
搜索关键词: | 范围 静电 中和 方法 | ||
【主权项】:
1、一种用于中和在第一位置的带静电的物体的装置,包括:第一电极,用于接收第一电压;第二电极,通过所选择尺寸的间隙与所述第一电极分开;第三电极,用于接收第三电压;当所述第一电压施加于所述第一电极并且参考电压施加于所述第二电极时,所述第一电压用于产生离子云,该离子云具有正负离子,并且具有位于所述间隙内的所选择位置的重力中心;并且当所述第二电压施加于所述第三电极时,所述第二电压用于重新分配所述正负离子。
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