[发明专利]宽范围的静电中和器和方法无效

专利信息
申请号: 200680017693.9 申请日: 2006-05-22
公开(公告)号: CN101568400A 公开(公告)日: 2009-10-28
发明(设计)人: P·戈夫特;S·格尔基;A·伊格纳坚科 申请(专利权)人: MKS仪器公司
主分类号: B23K10/00 分类号: B23K10/00
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 代理人: 王 英
地址: 美国马*** 国省代码: 美国;US
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 通过在电离单元或模块中产生具有正负带电离子混合物的离子云,并且重新整形该离子云来提供带电物体的静电中和,其中使用第二电压将离子重新分配至两个相反极性的区域来重新整形离子云。第二电压产生电场,该电场优选位于离子云的邻近处。离子的重新分配增加了可用离子向带电物体转移或移动的有效范围。该电场重新分配形成离子云的离子。因为极性与第二电压的极性相对应的离子被电场排斥,而极性与电场极性相反的离子被吸引到电场,所以在离子云内发生离子重新分配。在离子云中,将离子重新分配至两个相反极性的区域接着使得离子云重新整形,以至于与被排斥的离子相对应的一部分云由被吸引到电场的离子取代,这样增强了离子扩散或移动的范围。这种将离子重新分配至两个区域的方式在此处的公开文本中有时也被称为“离子极化”。
搜索关键词: 范围 静电 中和 方法
【主权项】:
1、一种用于中和在第一位置的带静电的物体的装置,包括:第一电极,用于接收第一电压;第二电极,通过所选择尺寸的间隙与所述第一电极分开;第三电极,用于接收第三电压;当所述第一电压施加于所述第一电极并且参考电压施加于所述第二电极时,所述第一电压用于产生离子云,该离子云具有正负离子,并且具有位于所述间隙内的所选择位置的重力中心;并且当所述第二电压施加于所述第三电极时,所述第二电压用于重新分配所述正负离子。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于MKS仪器公司,未经MKS仪器公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200680017693.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top