[发明专利]半导体器件及其制造方法无效
申请号: | 200680018146.2 | 申请日: | 2006-05-25 |
公开(公告)号: | CN101180734A | 公开(公告)日: | 2008-05-14 |
发明(设计)人: | 杉本雅裕;加地彻;上杉勉;上田博之;副岛成雅 | 申请(专利权)人: | 丰田自动车株式会社 |
主分类号: | H01L29/12 | 分类号: | H01L29/12;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 王永刚 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明旨在抑制III-V族化合物半导体的半导体区中包含的p型杂质(一般为镁)扩散到邻接的其它半导体区中。本发明的半导体器件(10)包括:由氮化镓(GaN)制成的第一半导体区(28),具有包含镁的p型杂质;由氮化镓制成的第二半导体区(34);以及由氧化硅(SiO2)制成的杂质扩散抑制层(32),其位于第一半导体区(28)和第二半导体区(34)之间。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种半导体器件,包括:包含p型杂质的III-V族化合物半导体的第一半导体区;III-V族化合物半导体的第二半导体区;以及夹在第一半导体区和第二半导体区之间的杂质扩散抑制层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于丰田自动车株式会社,未经丰田自动车株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200680018146.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一类新型埃坡霉素化合物及其制备方法和用途
- 下一篇:水解产物的制造方法
- 同类专利
- 专利分类