[发明专利]细线抗蚀剂剥离方法无效
| 申请号： | 200680018996.2 | 申请日： | 2006-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN101185034A | 公开（公告）日： | 2008-05-21 |
| 发明（设计）人： | 克里斯蒂安·斯帕林;迪莱克·特伍思;尼尔·伍德 | 申请（专利权）人： | 德国艾托科技公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及两步剥离方法，其包含下列剥离步骤：a)用含碱水溶液处理衬底，b)此后，用含有碱和至少一种选自由以下各物组成的群组的剥离增强剂的溶液进一步处理所述衬底：己二醇、乙二醇－乙醚、乙二醇－丁醚、乙二醇－异丙醚、丙二醇－甲醚、丙二醇－乙醚、丙二醇－丁醚、二乙二醇－甲醚、二乙二醇－乙醚、二乙二醇－丙醚、二乙二醇－丁醚、二丙二醇－甲醚、二丙二醇－乙醚、二丙二醇－丙醚、二丙二醇－丁醚、三乙二醇－甲醚、三乙二醇－乙醚、三乙二醇－丙醚、三乙二醇－丁醚、三丙二醇－甲醚、三丙二醇－乙醚、三丙二醇－丙醚、三丙二醇－丁醚、二乙二醇－异丙醚和丙二醇－甲醚乙酸盐。 | ||
| 搜索关键词： | 细线 抗蚀剂 剥离 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于去除衬底上光致抗蚀剂薄膜的方法，其包含下列步骤：a)用含碱水溶液处理所述衬底，b)此后，用含有碱和至少一种选自由由以下各物组成的群组的剥离增强剂的溶液进一步处理所述衬底：己二醇、乙二醇一乙醚、乙二醇一丁醚、乙二醇一异丙醚、丙二醇一甲醚、丙二醇一乙醚、丙二醇一丁醚、二乙二醇一甲醚、二乙二醇一乙醚、二乙二醇一丙醚、二乙二醇一丁醚、二丙二醇一甲醚、二丙二醇一乙醚、二丙二醇一丙醚、二丙二醇一丁醚、三乙二醇一甲醚、三乙二醇一乙醚、三乙二醇一丙醚、三乙二醇一丁醚、三丙二醇一甲醚、三丙二醇一乙醚、三丙二醇一丙醚、三丙二醇一丁醚、二乙二醇一异丙醚和丙二醇一甲醚乙酸盐。
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