[发明专利]高速基片对齐器设备

摘要

基片对齐器提供了最小的基片运输器延伸和收回运动以快速地对齐基片而不损坏背侧，同时增加了基片处理的生产能力。在一个实施例中，对齐器具有连接到框架的倒转卡盘，带有能将基片从卡盘传递到运输器的基片传递系统而不旋转地再定位基片。倒转卡盘消除了对齐器对基片基准的阻挡，且与传递系统一起允许运输器在对齐期间保持在框架内。在另一个实施例中，对齐器具有连接到框架的可旋转传感器头和带有透明安放垫的用于在对齐期间支承基片的基片支承件，使得运输器可以在对齐期间保持在框架内。基片对齐与基准在支承垫上的放置无关地进行。在其他实施例中，基片支承件使用了缓冲器系统以在设备内侧缓冲基片，从而允许快速的基片交换。

主权项

1.一种基片对齐器设备，其包括:适合于允许基片运输器将基片运输到对齐器设备和从对齐器设备运输的框架；能保持基片且通过卡盘驱动轴可移动地连接到框架的倒转卡盘，该卡盘驱动轴接合到倒转卡盘，以用于将倒转卡盘相对于框架移动且实现基片的对齐；位于卡盘和卡盘驱动轴之间的感测装置，以用于检测基片的位置确定特征；和可移动地连接到框架且位于框架内侧倒转卡盘下方的基片传递机构，以用于将基片从倒转卡盘移动到基片运输器。