[发明专利]用于控制振荡微机电系统的谐振频率的装置有效
| 申请号： | 200680019453.2 | 申请日： | 2006-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN101189793A | 公开（公告）日： | 2008-05-28 |
| 发明（设计）人： | L·普兰迪;E·拉萨兰德拉;T·昂加雷蒂 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王岳;王小衡 |
| 地址： | 意大利*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 一种用于控制振荡微机电系统的谐振频率的装置包含：微观结构(2)，所述微观结构(2)具有第一基体(10)和第二基体(11)，该第二基体(11)被电容性耦合到该第一基体(10)且可以以可校准的谐振频率(ωR)相对于其弹性振荡，其中该第二基体(11)和该第一基体(10)之间的相对位移(ΔY)可从外面检测；以及放大器(21)，其耦合到微观结构(2)用于检测相对位移(ΔY)。DC去耦元件(23)设置在放大器(21)和微观结构(2)之间。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 控制 振荡 微机 系统 谐振 频率 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于控制振荡微机电系统的谐振频率的装置，包括：微观结构(2)，包括第一基体(10)和第二基体(11)，所述第二基体(11)被电容性耦合到所述第一基体(10)且可以以可校准的谐振频率(ωR)相对于其弹性振荡，其中所述第二基体(11)和所述第一基体(10)之间的相对位移(ΔY)可从外面检测；以及放大器(21)，其耦合到所述微观结构(2)用于检测所述相对位移(ΔY)；所述装置的特征在于包括它设置在所述微观结构(2)和所述放大器(21)之间的DC去耦元件(23)。
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