[发明专利]放射线敏感性树脂组合物、叠层体及其制造方法无效
| 申请号： | 200680019711.7 | 申请日： | 2006-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN101189552A | 公开（公告）日： | 2008-05-28 |
| 发明（设计）人： | 新藤宽明 | 申请（专利权）人： | 日本瑞翁株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075;G03F7/004;H01L21/027;G03F7/023;G03F7/40 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 张平元 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及放射线敏感性树脂组合物，该组合物包含环烯烃类聚合物、放射线敏感性化合物和相对100重量份上述环烯烃类聚合物为10～60重量份的烷氧基硅烷化合物；叠层体，其是在基板上叠层由该组合物制成的树脂膜而形成的；叠层体的制造方法，该方法包括使用该组合物在基板上形成树脂膜的工序。本发明提供放射线敏感性树脂组合物、在基板上叠层由该组合物制成的树脂膜形成的叠层体及其制造方法，采用本发明的射线敏感性树脂组合物可以得到耐热形状保持性优异的树脂膜，形成图案化树脂膜时的熔体流动时的温度界限宽，而且，可以用作抗蚀材料。 | ||
| 搜索关键词： | 放射线 敏感性 树脂 组合 叠层体 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种放射线敏感性树脂组合物，该组合物包含：环烯烃类聚合物、放射线敏感性化合物、以及相对于100重量份所述环烯烃类聚合物为10～60重量份的烷氧基硅烷化合物。
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