[发明专利]正型抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法

摘要

一种正型抗蚀剂组合物，其中含有树脂成分(A)、以及可通过曝光产生酸的酸发生剂成分(B)；上述酸发生剂成分(B)含有由下述通式(B1)表示的酸发生剂(B1)，(B1)[式中，R⁵¹表示直链、支链或环状的烷基、或者直链、支链或环状的氟代烷基；R⁵²为氢原子、羟基、卤素原子、直链、支链或环状的烷基、直链或支链状的卤代烷基、或者直链或支链状的烷氧基；R⁵³为可具有取代基的芳基；n为1～3的整数]。

主权项

1.一种正型抗蚀剂组合物，其中含有一种具有酸离解性溶解抑制基、且可通过酸的作用使碱可溶性增大的树脂成分(A)，以及可通过曝光产生酸的酸发生剂成分(B)；上述酸发生剂成分(B)含有由下述通式(B1)表示的酸发生剂(B1)：【化1】式中，R⁵¹表示直链、支链或环状的烷基、或者直链、支链或环状的氟代烷基；R⁵²为氢原子、羟基、卤素原子、直链、支链或环状的烷基、直链或支链状的卤代烷基、或者直链或支链状的烷氧基；R⁵³为可具有取代基的芳基；n为1～3的整数。