[发明专利]通过采用进化算法的过程变化检测有效
| 申请号： | 200680021613.7 | 申请日： | 2006-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN101218550A | 公开（公告）日： | 2008-07-09 |
| 发明（设计）人： | 贾森·普卢姆霍夫 | 申请（专利权）人： | 奥立孔美国公司 |
| 主分类号： | G05B23/02 | 分类号： | G05B23/02;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 郑立;林月俊 |
| 地址： | 美国佛*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于创建过程变化检测算法的方法。把进化计算技术应用于包含至少一个已知过程变化的至少一个过程数据集。进化计算技术将生成优化已知过程变化的检测的过程状态函数(或者与现有的过程状态函数一起使用的比例系数)。然后，所生成的过程状态函数或系数可以被应用于未来的数据集(实时的或者处理之后的)以检测过程变化。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 采用 进化 算法 过程 变化 检测 | ||
【主权项】：
1.一种用于检测过程变化的方法，所述方法包括：把衬底置于腔室中；使所述衬底经历具有至少一个已知过程变化的过程；在过程期间至少获得一个数据集；以及把进化计算技术应用于至少一个数据集，以生成过程变化检测算法。
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