[发明专利]用于供送二氧化碳的系统无效
| 申请号： | 200680021627.9 | 申请日： | 2006-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN101199051A | 公开（公告）日： | 2008-06-11 |
| 发明（设计）人： | R·J·吉布;R·M·凯利;J·F·比林汉;T·J·小伯格曼 | 申请（专利权）人： | 普莱克斯技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/44 | 分类号： | H01L23/44;H01L21/00;B08B7/00;F25D3/10 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 段晓玲;范赤 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供一种用于传送高纯度二氧化碳流体的系统和装置。该系统包括至少两个分开的半导体操作步骤(6，14)，其中所述操作步骤的其中一个需要冷冻。将第一部分二氧化碳物流从供给管(1)中抽出并且将其导入第一半导体操作步骤(6)。将第二部分从供给管(1)中抽出并且穿过降压设备(12)导入第二半导体操作步骤(14)，由此降低进入第二半导体操作步骤的第二气体的温度和压力。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 二氧化碳 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于将二氧化碳流体供送到至少两个分开的半导体操作步骤的系统，其中所述操作步骤的一个需要冷冻，该系统包括：(a)使用预处理设备将包括二氧化碳组分的流体预处理以形成预处理的二氧化碳物流；(b)通过第一导管将第一部分所述预处理的二氧化碳物流导入第一半导体操作步骤，其中所述第一部分转化成流出物物流；(c)通过第二导管将第二部分所述预处理的二氧化碳物流引导穿过降压设备，形成较低压力和温度的第二物流；和(d)将从所述降压设备中排出的所述第二物流引入第二半导体操作步骤，其中所述第二物流作为冷却工具提供到所述第二半导体操作步骤，并且所述第二物流转化成第二流出物物流。
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