[发明专利]制造树脂的微型机器部件的方法有效
| 申请号： | 200680022865.1 | 申请日： | 2006-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN101208260A | 公开（公告）日： | 2008-06-25 |
| 发明（设计）人： | 本田那央;森哲;田中秀治;江刺正喜 | 申请（专利权）人： | 国立大学法人东北大学;日本化药株式会社 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;F04D29/22;B29C67/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 沙永生 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种制造树脂的微型机器部件的方法，该方法包括以下步骤：(a)在基片上形成一层牺牲层；(b)在所述牺牲层上顺序形成至少两层光敏树脂组合物层，并对形成的各光敏树脂组合物层进行光刻，形成限定微型机器部件的周边部分的气隙部分和构成微型机器部件的内部结构的气隙部分，因而形成多层结构；(c)在固化的光敏树脂组合物层的多层结构上沉积干膜抗蚀剂，对所述干膜抗蚀剂层进行光刻，形成固化的干膜蚀刻层，其中，形成限定遮蔽层的周边部分的气隙部分和构成遮蔽层结构的气隙；和(d)通过去除所述牺牲层将所述微型机器部件与所述基片分离，所述微型机器部件具有固化光敏树脂组合物层和固化的干膜抗蚀剂层的多层结构。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 树脂 微型 机器 部件 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造树脂构成的微型机器部件的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：(a)在基片上形成一层牺牲层；(b)在所述牺牲层上顺序形成至少两层光敏树脂组合物层，并对形成的各光敏树脂组合物层进行相应于预定微型机器部件的内部结构的光刻，形成限定微型机器部件的周边部分的气隙部分和构成微型机器部件的内部结构的气隙部分，因而形成固化的光敏树脂组合物层的多层结构；(c)在固化的光敏树脂组合物层的多层结构上层叠干膜抗蚀剂，对所述干膜抗蚀剂层进行相应于遮蔽层结构的光刻，形成固化的干膜抗蚀剂层，其中，形成限定遮蔽层的周边部分的气隙部分和构成遮蔽层结构的气隙部分；和(d)通过去除所述牺牲层将所述微型机器部件与所述基片分离，所述微型机器部件具有固化光敏树脂组合物层和固化的干膜抗蚀剂层的多层结构，并由限定周边部分的多层体组成。
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