[发明专利]用于校准光反射测量的系统和方法

摘要

本发明公开了一种用于测量样品的目标区域中的被分析物的测量系统和方法，所述样品还包括覆盖在目标区域上方的特征。所述系统包括：(a)光源；(b)检测系统；(c)一组至少第一、第二和第三光端口，所述组从光源传输光到样品并从样品接收光并导向检测系统，产生第一组数据和第二组数据，其中所述第一组数据包括相应于样品内部目标和覆盖在内部目标上方的特征两者的信息，所述第二组数据包括相应于覆盖在内部目标上方的特征的信息；(d)处理器，构造为可以使用第一和第二组数据从第一组数据移除覆盖在上方的特征的信息特征，以产生表示内部目标的已校准信息。

主权项

1、一种测量系统，包括：(a)光源；(b)检测系统；(c)一组至少第一、第二和第三光端口，所述组从所述光源传输光到样品并从样品接收光并导向所述检测系统，其中第一端口和第三端口之间的距离构成第一检测距离，第二端口和第三端口之间的距离构成第二检测距离，其中第一检测距离大于第二检测距离，且其中(i)第一和第二端口是传输端口而第三端口是接收端口，或者(ii)第一和第二端口是接收端口而第三端口是传输端口；以及其中所述检测系统产生相应于第一检测距离的第一组数据和相应于第二检测距离的第二组数据，其中所述第一组数据包括相应于样品内的内部目标和覆盖在该内部目标上方的特征两者的信息，所述第二组数据包括相应于覆盖在所述内部目标上方的特征的信息，以及(d)处理器，构造为可以使用所述第一和第二组数据从所述第一组数据移除所述覆盖在上方的特征的信息特征，以产生描述所述内部目标的已校准信息。