[发明专利]光源的平面阵列所发射的收敛光线的获得有效
| 申请号： | 200680022965.4 | 申请日： | 2006-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN101208594A | 公开（公告）日： | 2008-06-25 |
| 发明（设计）人： | 里欧·鲍德温 | 申请（专利权）人： | 伊雷克托科学工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/00 | 分类号： | G01N21/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 许静 |
| 地址： | 美国奥*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提出了用于获得光源(118、120)的平面阵列所发射的收敛光线(123、126)的系统和方法。在一个实施例中，提出了一种成像装置(200)，用于检查半导体或其它物体(116)。成像装置(200)包括用于成像从物体(116)反射的光线的一个或多个成像透镜(112)。成像装置(200)还包括附接到平面电路板(212)的第一光源(118)，以及附接到平面电路板(212)的第二光源(120)。成像装置(200)进一步包括用于指引来自第一光源(118)的光线从第一方向朝向物体(116)的第一菲涅耳棱镜(214)、以及用于指引来自第二光源(120)的光线从第二方向朝向物体的第二菲涅耳棱镜(216)。在一个实施例中，成像装置(300、400)还包括用于提高或降低光线的散度的一个或多个光学元件(310、312、410、412)。 | ||
| 搜索关键词： | 光源 平面 阵列 发射 收敛 光线 获得 | ||
【主权项】：
1.一种用于检查半导体的成像装置，所述成像装置包括：一个或多个成像透镜，用于成像从物体反射的光线；平面电路板；第一光源，附接到所述平面电路板；第二光源，附接到所述平面电路板；第一菲涅耳棱镜，用于指引来自第一光源的光线从第一方向朝向所述物体；及第二菲涅耳棱镜，用于指引来自第二光源的光线从第二方向朝向所述物体。
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