[发明专利]化学机械抛光在制造铝镜和太阳能电池中的用途无效
| 申请号： | 200680023157.X | 申请日： | 2006-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN101208178A | 公开（公告）日： | 2008-06-25 |
| 发明（设计）人： | 弗拉斯塔·布鲁西克;理查德·詹金斯;克里斯托弗·汤普森 | 申请（专利权）人： | 卡伯特微电子公司 |
| 主分类号： | B24B13/015 | 分类号： | B24B13/015;B24B37/04;B24D13/04 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 宋莉 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种抛光含铝基板的表面的方法，其包括将该基板的表面与抛光垫及包含研磨剂、对铝进行氧化的试剂及液体载体的抛光组合物接触，并研磨该表面的至少一部分以自该基板移除至少一些铝且抛光该基板的该表面，其中该研磨剂为微粒状且悬浮于该液体载体中。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械抛光 制造 太阳能电池 中的 用途 | ||
【主权项】：
1.一种抛光含铝基板的表面的方法，该方法包括：(i)提供含铝基板，(ii)提供抛光垫，(iii)提供抛光组合物，该抛光组合物包含：(a)选自二氧化硅、二氧化铈及氧化锆的研磨剂，(b)对铝进行氧化的试剂，及(c)液体载体，其中该研磨剂为微粒状且悬浮于该液体载体中，(iv)将该基板的表面与该抛光垫及该抛光组合物接触，及(v)研磨该基板的该表面的至少一部分以自该基板移除至少一些铝且抛光该基板的该表面。
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