[发明专利]制造组件的方法及组件无效
申请号: | 200680023338.2 | 申请日: | 2006-06-23 |
公开(公告)号: | CN101208789A | 公开(公告)日: | 2008-06-25 |
发明(设计)人: | R·德克尔;M·A·德桑贝尔;W·H·德哈斯;T·M·米希尔森;F·A·C·M·朔夫斯;N·J·A·范费恩 | 申请(专利权)人: | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L25/065;H01L21/98;H01L21/68 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 王英 |
地址: | 荷兰艾*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
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摘要: | 组件(100)包括其中限定电元件(20)的横向有限的半导体衬底区(15)。其上,存在互连结构(21)。在其第一侧(101)设有用于耦合到电器件(30)的接触焊盘(25、26),而在其第二侧(102)设有到电元件(11)的连接(20)。端子(52、53)位于互连结构(21)的第二侧(102)处,并且通过延伸部分(22、23)耦合到互连结构(21),横向设置所述延伸部分并使其与半导体衬底区(15)隔离。将电器件(30)安装到互连结构(21)的第一侧(101),并且存在封装体(40),其在互连结构(21)的第一侧(101)上延伸以便支撑其并封装电器件(30)。 | ||
搜索关键词: | 制造 组件 方法 | ||
【主权项】:
1.一种制造半导体组件的方法,包括以下步骤:提供载体,其包括具有第一侧和相反的第二侧的半导体衬底,且具有限定在所述衬底中、在所述第一侧处的至少一个电元件,所述载体还包括位于所述衬底的所述第一侧上的互连结构,其中限定多个接触焊盘和至少一个至所述衬底的所述第一侧的延伸部分,以及来自所述至少一个电元件和到所述至少一个电元件的互连;将有源器件附着并电耦合到所述互连结构中的所述接触焊盘,所述有源器件的表面面积小于所述载体;封装电器件,通过从其第二侧选择性地去除所述半导体衬底来形成至少一个由半导体材料构成的岛,以及限定用于耦合到所述互连结构中的所述延伸部分的外部连接的端子。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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