[发明专利]带有统计可重复的响应时间的多功能半导体制造控制器

摘要

带有用于其中工具主机可以代表数据收集和监视和控制任务的半导体制造的相关处理的I/O控制器(127)。其中过程I/O控制器可以执行数据收集或监视或控制的多于一个任务，并响应于来自工具主机的命令具有统计可重复性能和精确度的。在此描述的实施例使用优先排序的实时操作系统来控制半导体制造工具和来自与传感器相关联的工具的数据收集。在所选择的配方步骤期间对所选择命令和传感器输入的统计可重复响应性有效地降低了抖动。

主权项

1.一种使用工具主机和过程I/O控制器对半导体制造过程精确定时控制的方法，其中该过程I/O控制器包括处理室监视的电接口，以及通过该电接口控制并支持精确定时的输入和输出，并且该工具主机包括象征性地代表该电接口的编程环境，该方法包括：在该工具主机上，准备控制程序，该程序包括用于该过程I/O控制器通过该电接口采样输入和控制输出的指令；从该工具主机到该过程I/O控制器，载入该控制程序；以及在该过程I/O控制器上，在接收调用该控制程序的命令时，运行该控制程序以通过该电接口产生采样输入和控制输出的统计上准确的定时；其中当在目标时间和实际时间之间的方差分布的99.99％范围中的方差小于或等于5(五)毫秒时，该采样输入和控制输出被看作是具有统计上准确的定时。