[发明专利]硬质材料涂覆体和它们的制备方法

摘要

本发明涉及一种具有单层或多层体系的硬质材料涂覆体和其制备方法，所述的层体系包括至少一个Ti_1－xAl_xN硬质材料层。本发明的目的在于获得耐磨损性和抗氧化性显著提高的这种硬质材料涂覆体。所述硬质材料涂覆体的特征在于所述物体涂覆有至少一个不需等离子体激发通过CVD产生的Ti_1－xAl_xN硬质材料层，其中所述Ti_1－xAl_xN硬质材料层作为立方体NaCl结构的单相层存在，其中化学计量系数x＞0.75，高达x＝0.93，晶格常数a_fcc为0.412nm－0.405nm，或其中Ti_1－xAl_xN硬质材料层是多相层，其主相由具有立方体NaCl结构的Ti_1－xAl_xN组成，其中化学计量系数x＞0.75，高达x＝0.93，晶格常数a_fcc为0.412nm－0.405nm，包含作为附加相的纤锌矿结构的Ti_1－xAl_xN和/或NaCl结构的TiNx。所述硬质材料层的另一个特征在于，其中氯含量为0.05－0.9at％。本发明还涉及一种制造所述物体的方法，其特征在于，不需要等离子体激发，在700℃－900℃的温度下在反应器中通过CVD涂覆该物体，以卤化钛、卤化铝和反应性氮化合物作为前体，在高温下混合。本发明的涂层能够用于钢制的工具、硬金属、金属陶瓷和陶瓷，比如钻、铣刀和镶入式截坯刀。

主权项

1.一种具有单层或多层层体系的硬质材料涂覆体，所述的层体系包括至少一个不需等离子体激发通过CVD制造的Ti1-xAlxN硬质材料层，其中Ti1-xAlxN硬质材料层作为立方体NaCl结构的单相层存在，其中化学计量系数x＞0.75，高达x＝0.93，晶格常数afcc为0.412nm-0.405nm，或其中Ti1-xAlxN硬质材料层是多相层，其主相由具有立方体NaCl结构的Ti1-xAlxN组成，其中化学计量系数x＞0.75，高达x＝0.93，晶格常数afcc为0.412nm-0.405nm，包含作为附加相的纤锌矿结构的Ti1-xAlxN和/或NaCl结构的TiNx，其中Ti1-xAlxN硬质材料层的氯含量为0.05-0.9at％。