[发明专利]正型感光性树脂组合物以及图案形成方法有效
| 申请号： | 200680025142.7 | 申请日： | 2006-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN101218540A | 公开（公告）日： | 2008-07-09 |
| 发明（设计）人： | 冈崎真喜;大西仁志;山下涉 | 申请（专利权）人： | 三井化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;C08G73/10;G03F7/38;G03F7/40;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 钟晶 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种可以使用碱金属碳酸盐水溶液显像、能够形成微细图案、具有优异耐热性等的含聚酰亚胺前体的正型感光性树脂组合物、正型图案的形成方法及其用途。本发明的正型感光性树脂组合物含有100重量份具有下述式(1)所示结构单元的聚酰亚胺前体(A)、15～25重量份由下述式(2)所示的交联剂(B)，和2～5重量份通过活性光线照射而产生酸的感光剂(C)。(式中，m表示1以上的整数，R表示1价以上的芳香族基团或脂肪族基团。) | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 以及 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，含有100重量份具有下述式(1)所示结构单元的聚酰亚胺前体(A)、15～25重量份由下述式(2)所示的交联剂(B)和2～5重量份通过活性光线照射而产生酸的感光剂(C)，![]()
(H2C＝CH-O-CH2CH2-OmR ...(2)式中，m表示1以上的整数，R表示1价以上的芳香族基团或脂肪族基团。
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