[发明专利]光学微型光谱仪无效

专利信息
申请号: 200680026072.7 申请日: 2006-05-17
公开(公告)号: CN101263372A 公开(公告)日: 2008-09-10
发明(设计)人: U·博纳;J·德特里;T·马塔;K·约翰逊 申请(专利权)人: 霍尼韦尔国际公司
主分类号: G01J3/20 分类号: G01J3/20
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 卢江;王小衡
地址: 美国新*** 国省代码: 美国;US
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 一种具有多晶片结构的光谱仪(10,20,30,40,50)。该结构可以利用MEMS技术来制造。该光谱仪可以与流体分析器(110)集成。连同光发射点(17)和检测器(19)一起位于罗兰圆(15)的圆周上的诸如衍射或全息光栅的反射光栅(14)可以是光谱仪的配置。一些配置可使用外部光源,其中光可被光学传送到该圆上的发射点(17)。可以存在拉曼配置,其中光和流体分析器中的通道的样品或交互式薄膜(49)的相互作用是光谱仪的光发射点。在光谱仪的一些配置中,光栅(14,55)和/或薄膜可以是反射的或透射的。
搜索关键词: 光学 微型 光谱仪
【主权项】:
1.一种光谱仪,包括:第一晶片(11);具有位于该第一晶片上的第一通道(13)和第二通道(13)的第二晶片(12);位于该第一通道的第一端的光源(17);位于该第一通道的第二端和该第二通道的第一端的反射器(14);和位于该第二通道的第二端的检测器阵列(19);并且其中该光源、该反射器和该检测器阵列位于平面中的圆(15)的圆周周围。
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