[发明专利]具有集成载荷单元的化学药品存储设备有效

专利信息
申请号: 200680026407.5 申请日: 2006-09-08
公开(公告)号: CN101228417A 公开(公告)日: 2008-07-23
发明(设计)人: A·米斯拉;B·J·朱尔奇克;R·拉克斯曼 申请(专利权)人: 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司
主分类号: G01G17/04 分类号: G01G17/04
代理公司: 北京市中咨律师事务所 代理人: 杨晓光;李峥
地址: 法国*** 国省代码: 法国;FR
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摘要: 一种化学药品存储设备(100)和监测化学药品使用的方法。该设备和所公开的方法采用化学药品存储罐(102)和集成至一个可运输单元的载荷单元(104)。该载荷单元(104)能够补偿在半导体产业中所使用的附加的分配设备增加的重量。另外,当将化学药品从化学药品存储设备(100)抽出时,载荷单元(104)连续显示化学药品的重量(220)。被组合入载荷单元(104)本身的载荷单元(104)的控制逻辑包括这些功能。
搜索关键词: 具有 集成 载荷 单元 化学药品 存储 设备
【主权项】:
1.一种与分配设备结合使用的化学药品存储设备,包括:罐;载荷单元,其与所述罐集成,所述载荷单元包括处理器和显示器;控制逻辑,其可在所述处理器上运行,其中所述控制逻辑使所述载荷单元:a)响应于用户输入测定所述罐的空皮重;b)在所述显示器上显示添加至所述罐的至少一种化学药品的重量;c)在所述分配设备连至所述罐后校准所述载荷单元,从而在所述显示器上仅仅示出所述至少一种化学药品的所述重量;以及d)在消耗所述至少一种化学药品时,连续显示所述至少一种化学药品的重量。
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