[发明专利]硅喷动流化床有效
| 申请号： | 200680026513.3 | 申请日： | 2006-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN101316651A | 公开（公告）日： | 2008-12-03 |
| 发明（设计）人： | 保尔·爱德华·埃格;杰弗里·A·汉森;莱维·C·艾伦 | 申请（专利权）人： | 瑞科硅公司 |
| 主分类号： | B01J8/24 | 分类号： | B01J8/24;C01B33/02 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 郑立;林月俊 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 通过含硅气体的高温分解和硅沉积到流化的硅粒子上而形成多晶硅。公开了多淹没式喷动流化床反应器(10)和具有二级孔(20)的反应器。 | ||
| 搜索关键词： | 硅喷动 流化床 | ||
【主权项】：
1.一种加热的硅沉积反应器系统，包含：多个硅粒子；容器，该容器具有限定腔室的壁，所述腔室含有所述粒子；至少一个喷嘴，所述喷嘴具有开口，该开口布置成将含硅气体向上喷射到所述腔室中以在淹没式喷动中循环所述粒子；和至少一个二级孔，所述二级孔与所述喷嘴横向间隔开并布置成将气体喷射到所述腔室中作为向着所述喷动或与所述喷动并排地向上延伸的射流。
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