[发明专利]图案形成方法

摘要

本发明提供一种图案形成方法，其是进行使光调制机构倾斜来描绘的曝光的图案形成方法，不降低曝光速度，在感光层的被曝光面上形成锯齿的产生被抑制的希望的描绘图案，由此高精细且效率良好地形成配线图案等。因此，以使由再现利用描绘部形成的描绘像素而产生的锯齿的锯齿间距及锯齿振幅的至少任一个成为规定值的方式，设定描绘像素的排列间距(a)、倾斜角度(b)、描绘间距(c)、及相位差(d)的至少任一个，基于所述图案信息以规定的时刻调制控制所述描绘部来进行。

主权项

1.一种图案形成方法，其特征在于，将支撑体上具有感光层的图案形成材料中的该感光层层叠于被处理基体上，然后，至少包括：使用曝光头，使该曝光头沿扫描方向相对移动，对该感光层进行曝光的步骤，所述曝光头是具有光照射机构、及具有接受来自所述光照射机构的光并射出的n个(其中，n为2以上的自然数)排列为二维状的描绘部，且能够根据图案信息控制所述描绘部的光调制机构的曝光头，且所述描绘部的列方向配置为与该曝光头的扫描方向呈规定的倾斜角度，该曝光中，设定如下所述的(a)、(b)、(c)、(d)中的至少任一个，使得在与所述图案信息对应的描绘图案中，用由所述描绘部形成的描绘像素再现而生成的锯齿的锯齿间距及锯齿振幅的至少任一个成为规定值以下：(a)由邻接的所述描绘部形成的所述描绘像素的排列间距；(b)由多个所述描绘像素构成的二维状描绘像素组的相对所述扫描方向的倾斜角度；(c)所述扫描方向上的所述描绘像素的扫描间距；及(d)在与所述扫描方向大致正交的方向上邻接而形成的所述描绘像素的所述扫描方向上的描绘位置的相位差，并且，基于所述图案信息以规定的时刻调制控制所述描绘部。