[发明专利]在大型平板上进行溅镀的方法和装置

摘要

一种设置在一长方形标靶背面的长方形磁控管，其包括具有相对极性且配置以在其间形成间隙的磁铁。相应于一邻近标靶的等离子轨而强化一等离子以溅镀标靶材料至一长方形面板上。该间隙是延伸于具有蜿蜒形或螺旋形的密闭回路中。该磁控管的大小仅稍微小于该标靶且可在二垂直方向上扫描该标靶一段距离，例如，对2米标靶来说，该距离约100毫米。该扫描也可依循一双-Z形模式，沿着与一标靶侧边平行的两连接及两对角线扫描。外部致动器可使一可滑动地悬挂在起重台(其可在与该腔室侧壁垂直方向上滑动)上的磁控管沿着一二维路径移动。

主权项

1.一种溅镀磁控管，位于一平面内，该溅镀磁控管具有一矩形外框，并包括一磁极性与该平面垂直的一外部极，该外部极环绕另一相反极性的一内部极，且该内、外部极之间具有一间隙，其中该内、外部极的排列是使得该间隙形成一密闭回路，该密闭回路在该平面内绕着一点而形成两个以上的缠绕。