[发明专利]利用微柱检验精细图案和形态的检验设备有效
| 申请号： | 200680028006.3 | 申请日： | 2006-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN101233444A | 公开（公告）日： | 2008-07-30 |
| 发明（设计）人： | 金浩燮 | 申请（专利权）人： | 电子线技术院株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 党晓林 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种利用微柱检验精细图案和形态的检验设备。本发明的检验设备可对不能利用传统光学检验设备进行检验的精细电路进行检验。此外，本发明可快速检验面积相对较大的显示器，并可具有精确检验功能和修复功能。本发明的检验设备包括多个微柱、结合有所述微柱的杆以及检测器，所述杆沿与对象运动方向垂直的方向布置，所述检测器用于检测从微柱辐射到对象上的电子束以确定对象的电路中是否存在故障。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 检验 精细 图案 形态 设备 | ||
【主权项】：
1.一种检验设备，该检验设备包括：多个微柱；至少一个第一检验单元，其用于高速检验对象，所述第一检验单元包括杆以及电子检测单元，所述杆结合有所述微柱并且沿着与对象运动方向垂直的方向布置，所述电子检测单元用于检测从所述微柱辐射到对象上的电子束以确定所述对象中是否存在故障；以及至少一个第二检验单元，其设置在所述第一检验单元后方以精确检验对象的存在故障的部分，所述第二检验单元包括可沿X和Y方向运动的活动杆以及结合到该活动杆上的微柱。
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