[发明专利]微光刻投影物镜有效
| 申请号： | 200680028253.3 | 申请日： | 2006-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN101297243A | 公开（公告）日： | 2008-10-29 |
| 发明（设计）人： | 海科·费尔德曼;丹尼尔·克雷默;让－克洛德·佩林;朱利安·卡勒;奥雷利安·多多克;弗拉基米尔·卡梅诺夫;奥拉夫·康拉迪;托拉夫·格鲁纳;托马斯·奥孔;亚历山大·埃普勒 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司股份公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 孙志湧;陆锦华 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 对于一种用于将布置在物平面的图案成像到像平面的微光刻投影物镜，相对于抑制这种投影物镜中的虚光进行了描述。 | ||
| 搜索关键词： | 微光 投影 物镜 | ||
【主权项】：
1.一种用于将布置在物平面的图案成像到像平面的微光刻投影物镜，包括第一物镜部分、第二物镜部分和至少一个第三物镜部分，所述第二物镜部分限定了与所述第一物镜部分中的光传播方向和所述第三物镜部分中的光传播方向不同的光传播方向，并且还包括在所述第一和第二物镜部分之间以及在所述第二和第三物镜部分之间的至少一个光束偏折器、以一种方式布置在所述光束偏折器的区域内使得从所述第一物镜部分到所述第三物镜部分中的直接光泄漏至少减少的至少一个遮蔽物。
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