[发明专利]用于蒸发器体的初始润湿辅助材料有效
| 申请号： | 200680028528.3 | 申请日： | 2006-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN101238237A | 公开（公告）日： | 2008-08-06 |
| 发明（设计）人： | 乌尔里希·格茨;迈克尔·尼恩贝格尔 | 申请（专利权）人： | 斯泰克陶瓷有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 蔡胜有;刘继富 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 初始润湿辅助材料，所述辅助材料用于施加到可电加热的陶瓷蒸发器体(1)的蒸发器表面上，所述蒸发器体(1)用于在PVD敷金属装置中运行以蒸发铝并且含有作为材料成分的氮，所述氮优选为氮化硼的形式。所述初始润湿辅助材料包含铝，所述铝在蒸发器体(1)开始运行之后在蒸发器表面上熔化，并且在熔融状态下与所述蒸发器体(1)中的氮反应，由此在蒸发器表面上形成氮化铝层。所述初始润湿辅助材料还包含润湿剂，通过所述润湿剂有助于熔融的铝在所述蒸发器表面上形成均匀的、大的表面分布。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 蒸发器 初始 润湿 辅助材料 | ||
【主权项】：
1.一种初始润湿辅助材料，所述辅助材料用于施加到可电加热的陶瓷蒸发器体(1)的蒸发器表面上，所述蒸发器体(1)用于在PVD敷金属装置中运行以蒸发铝并且含有作为材料成分的氮，所述氮优选为氮化硼的形式，所述辅助材料包含干燥或悬浮形式的块体形式和/或层状材料和/或粉末材料的形式的至少两种材料成分：所述至少两种材料成分包含：作为第一材料成分的铝，条件是：所述铝在所述蒸发器体(1)开始运行之后在所述蒸发器体加热过程中，在所述蒸发器表面上可熔并且能够在熔融状态与所述蒸发器体(1)中的所述氮反应，由此在所述蒸发器表面上形成氮化铝层，以及作为第二材料成分的润湿剂，条件是：所述润湿剂能够促使所述熔融的铝在所述蒸发器表面上形成均匀的、大的表面分布。
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