[发明专利]悬臂式探针以及制造该悬臂式探针的方法

摘要

本发明公开了一种悬臂式探针以及制造该悬臂式探针的方法。该悬臂式探针包括悬臂和尖端，该悬臂的长度大于它的宽度和高度，该尖端从悬臂的底部延伸并且形成在悬臂的一端。与悬臂底部平行的尖端的剖面是矩形，具有四个相对于悬臂的长度方向倾斜的侧边。

主权项

1.一种制造探针的方法，包括：在基底上形成带有第一开口的掩模图案，所述第一开口使所述基底的顶面的预定区域露出；使用所述掩模图案作为蚀刻掩模而蚀刻所述基底，从而在所述第一开口下面形成沟槽；去除所述掩模图案，从而使所述基底的顶面露出；在包括所述沟槽的基底上形成带有第二开口的成型图案，所述第二开口使所述沟槽露出；形成带有尖端和悬臂的探针，所述尖端和所述悬臂分别布置在所述沟槽和所述第二开口中；以及去除所述成型图案和所述基底，从而将所述探针剥离，其中所述第一开口是形成在所述第二开口一端的六面体空间，并且所述第一开口的侧壁相对于所述第二开口的长度方向倾斜。