[发明专利]排气装置压力控制系统有效
| 申请号： | 200680028941.X | 申请日： | 2006-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN101238422A | 公开（公告）日： | 2008-08-06 |
| 发明（设计）人： | 南部正博 | 申请（专利权）人： | 先进能源工业公司 |
| 主分类号： | G05D16/20 | 分类号： | G05D16/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 蔡胜利 |
| 地址： | 美国科*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种压力控制系统(10)包括本体(20)，其中所述本体包含进气端口(22)、排气端口(24)以及先导控制室(30)；柱塞(40)，其通过弹簧(48)连接至所述主体(20)的上侧部分，并被保持成其可沿相对于滑动表面(29a、29b)的轴向滑动；用于检测所述进气端口(22)的气体压力的绝对压力传感器(SA)以及用于检测大气压力与所述进气端口(22)的气体压力之间的压差的差压传感器(SB)；用于将压力调节气体供应至所述先导控制室(30)的控制阀(V)；以及控制电路(C)，用于发出针对传感器(SA和SB)的切换信号，并基于所述传感器(SA、SB)的输出驱动所述控制阀(V)。 | ||
| 搜索关键词： | 排气装置 压力 控制系统 | ||
【主权项】：
1.一种排气装置压力控制系统，包括：主体，其中所述主体包含先导控制室，在其中形成进气端口和排气端口；以及柱塞，其中所述柱塞包含上侧滑块和下侧滑块；所述主体的柱塞通过弹簧连接至所述主体的上侧部分，并且通过所述上侧滑块和所述下侧滑块被保持成，所述柱塞在连接所述进气端口和所述排气端口的滑动表面上沿轴向可以滑动；所述排气装置压力控制系统还包括：用于检测所述进气端口中的压力的绝对压力传感器、以及用于检测所述进气端口中的压力与大气压力之差的差压传感器；用于将压力调节气体供应至所述先导控制室的控制阀；以及控制电路，其中所述控制电路用于将切换信号发送至所述绝对压力传感器和所述差压传感器，并且基于来自所述绝对压力传感器或差压传感器的输出，驱动所述控制阀。
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